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高純?yōu)R射靶材產業(yè)鏈與哪些行業(yè)有關?

很多國家都非常重視濺射靶材的研發(fā)和生產,在很多濺射靶材核心技術上,很多國家都依靠國外進口。高純?yōu)R射靶材行業(yè)是屬于電子材料領域,濺射靶材和超高純金屬是電子材料的重要組成部分,濺射靶材產業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節(jié),其中,靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個濺射靶材產業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié)。

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高純度乃至超高純度的金屬材料是生產高純?yōu)R射靶材的基礎,以半導體芯片用濺射靶材為例,若濺射靶材雜質含量過高,則形成的薄膜無法達到使用所要求的電性能,并且在濺射過程中易在晶圓上形成微粒,導致電路短路或損壞,嚴重影響薄膜的性能。

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通常情況下,高純金屬提純分為化學提純和物理提純,為了獲得更高純度的金屬材料,最大限度地去除雜質,需要將化學提純和物理提純結合使用。在將金屬提純到相當高的純度后,往往還需配比其他金屬元素才能投入使用,在這個過程中,需要經過熔煉、合金化和鑄造等步驟:通過精煉高純金屬,去除氧氣、氮氣等多余氣體;再加入少量合金元素,使其與高純金屬充分結合并均勻分布;最后將其鑄造成沒有缺陷的錠材,滿足生產加工過程中對金屬成份、尺寸大小的要求。

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可以說高純?yōu)R射靶材產業(yè)鏈是電阻材料領域的核心,沒有高純?yōu)R射靶材的發(fā)展,電子材料很多領域都會受到影響,甚至導致其他上游行業(yè)舉步維艱。


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